멤스(MEMS)

멤스는 미세전자기계시스템(MEMS) 가스 센서를 통해 혁신상을 수상해 전 세계 시장에서의 기술적 우위와 경쟁력을 입증하는 뚜렷한 사례로 자리매김했다.

MEMS 가스 센서는 수소 검출에 최적화된 센서로, 박막 구조를 통해 직접적인 접촉이나 촉매반응 없이 기체 분자의 열전도성을 이용해 수소를 식별한다. 이 센서는 각 특성에 따라 검측 범위에 한계가 있는 기존 제품들과 달리 약 2㎜의 작은 크기에도 불구, 광범위한 수소 농도를 정확히 측정할 수 있는 능력을 갖추고 있어 수소 에너지 시장에서의 다양한 응용 가능성을 제시한다.

멤스는 2020년 12월 설립된 멤스 소자 연구 개발 및 제조 전문 기업으로 국내에서 유일하게 종합적인 멤스 공정기술을 보유하고 있다. 자체적인 소자 설계 및 시뮬레이션, 공정 최적화, 패키징 기술을 바탕으로 소규모 파운드리 서비스를 제공하고 있다.

특히 이 회사는 일반적인 실리콘(Si) 웨이퍼를 포함해 질화갈륨(GaN), 산화갈륨(Ga2O₃)과 같은 차세대 반도체 소재의 공정 노하우를 보유해 특화 소자 제작이 가능한 기술력을 갖추고 있다.